Edward Kostsov

Nella moderna microelettronica, il settore in pi intenso sviluppo quello dei sistemi microelettromeccanici, MEMS. Questa direzione si basa sulle ultime conquiste delle tecnologie microelettroniche e mira a creare micromeccanismi esecutivi che hanno capacit funzionali prima irraggiungibili. Negli ultimi anni, i MEMS hanno avuto un forte impatto sulla vita quotidiana di decine di milioni di persone, attraverso la creazione di nuovi mercati per l'elettronica mobile, con propriet e industrie di consumo precedentemente sconosciute - automotive, elettronica, aerospaziale, medicale, ecc. Tuttavia, ad oggi, la maggior parte degli specialisti, degli sviluppatori di apparecchiature elettroniche e degli utenti di dispositivi ad alta tecnologia non dispone di informazioni sufficienti sulla nuova direzione della microelettronica. Il libro considera lo stato attuale di questa direzione della microelettronica, un'ampia gamma delle sue possibilit pratiche e prospettive di ulteriore sviluppo. Vengono considerati i principi fisici del funzionamento dei MEMS e le loro caratteristiche. Il libro destinato agli specialisti della microelettronica, dell'informatica e agli studenti delle universit tecniche.

Dans la micro lectronique moderne, le secteur qui se d veloppe le plus intens ment est celui des syst mes micro lectrom caniques, les MEMS. Cette orientation s'appuie sur les derni res r alisations des technologies micro lectroniques et vise cr er des microm canismes d'ex cution qui ont des capacit s fonctionnelles jusqu'alors inaccessibles. Ces derni res ann es, les MEMS ont eu un impact majeur sur la vie quotidienne de dizaines de millions de personnes, gr ce la cr ation de nouveaux march s pour l' lectronique mobile, avec des propri t s de consommation et des secteurs industriels jusqu'alors inconnus - automobile, lectronique, a rospatiale, m dical, etc. Toutefois, ce jour, la plupart des sp cialistes, des concepteurs d' quipements lectroniques et des utilisateurs d'appareils de haute technologie ne disposent pas d'informations suffisantes sur la nouvelle orientation de la micro lectronique. Le livre examine l' tat actuel de cette orientation de la micro lectronique, un large ventail de ses possibilit s pratiques et les perspectives de son d veloppement futur. Les principes physiques du fonctionnement des MEMS et leurs caract ristiques sont pris en compte. Ce livre est destin aux sp cialistes de la micro lectronique, de l'informatique et aux tudiants des universit s techniques.

In modern microelectronics, the most intensively developing sector is microelectromechanical systems, MEMS. This direction is based on the latest achievements of microelectronic technologies and is aimed at creating executive micromechanisms that have previously unattainable functional capabilities. In recent years, MEMS has had a major impact on the daily lives of tens of millions of people, through the creation of new markets for mobile electronics with previously unknown consumer properties and on industries such as automotive, electronic, aerospace, medical, etc. However, to date, most specialists, developers of electronic equipment and users of high-tech devices have insufficient information about the new direction of microelectronics. The book considers the current state of this direction of microelectronics, a wide range of its practical possibilities and prospects for further development. Physical principles of MEMS functioning and their characteristics are considered. The book is intended for specialists in the field of microelectronics, informatics, and for students of technical universities.

W nowoczesnej mikroelektronice najbardziej intensywnie rozwijającym się sektorem są systemy mikroelektromechaniczne, MEMS. Kierunek ten oparty jest na najnowszych osiągnięciach technologii mikroelektronicznych i ma na celu stworzenie mikromechanizm w wykonawczych, kt re mają wcześniej nieosiągalne możliwości funkcjonalne. W ostatnich latach MEMS wywarl znaczący wplyw na codzienne życie dziesiątk w milion w ludzi, poprzez stworzenie nowych rynk w dla mobilnej elektroniki, o nieznanych wcześniej wlaściwościach konsumpcyjnych i branżach - motoryzacyjnej, elektronicznej, lotniczej i kosmicznej, medycznej, itp. Jednak do tej pory większośc specjalist w, tw rc w sprzętu elektronicznego i użytkownik w zaawansowanych technologicznie urządzeń nie ma wystarczających informacji na temat nowego kierunku rozwoju mikroelektroniki. W książce om wiono obecny stan tego kierunku mikroelektroniki, szeroki zakres jej praktycznych możliwości i perspektywy dalszego rozwoju. Uwzględniono fizyczne zasady funkcjonowania MEMS i ich charakterystykę. Książka przeznaczona jest dla specjalist w z zakresu mikroelektroniki, informatyki oraz student w uczelni technicznych.

Na microelectr nica moderna, o sector que mais se desenvolve intensivamente o dos sistemas microelectromec nicos, MEMS. Esta direc o baseia-se nas mais recentes realiza es das tecnologias microelectr nicas e visa criar micromecanismos executivos com capacidades funcionais anteriormente inating veis. Nos ltimos anos, MEMS teve um grande impacto na vida quotidiana de dezenas de milh es de pessoas, atrav s da cria o de novos mercados para a electr nica m vel, com propriedades de consumo e ind strias anteriormente desconhecidas - autom vel, electr nica, aeroespacial, m dica, etc. Contudo, at data, a maioria dos especialistas, desenvolvedores de equipamentos electr nicos e utilizadores de dispositivos de alta tecnologia t m informa o insuficiente sobre a nova direc o da microelectr nica. O livro considera o estado actual desta direc o da microelectr nica, uma vasta gama das suas possibilidades pr ticas e perspectivas de desenvolvimento futuro. Os princ pios f sicos de funcionamento dos MEMS e as suas caracter sticas s o considerados. O livro foi concebido para especialistas em microelectr nica, inform tica, e estudantes de universidades t cnicas.

In der modernen Mikroelektronik ist der sich am intensivsten entwickelnde Sektor mikroelektromechanische Systeme, MEMS. Diese Richtung basiert auf den neuesten Errungenschaften der mikroelektronischen Technologien und zielt darauf ab, exekutive Mikromechanismen zu schaffen, die bisher unerreichbare Funktionsf higkeiten haben. In den letzten Jahren haben MEMS durch die Schaffung neuer M rkte f r mobile Elektronik mit bisher unbekannten Verbrauchereigenschaften und Branchen - Automobil, Elektronik, Luft- und Raumfahrt, Medizin usw. - das t gliche Leben von Dutzenden von Millionen von Menschen stark beeinflusst. Die meisten Spezialisten, Entwickler von elektronischen Ger ten und Anwender von High-Tech-Ger ten haben jedoch bisher nur unzureichende Informationen ber die neue Richtung der Mikroelektronik. Das Buch betrachtet den gegenw rtigen Stand dieser Richtung der Mikroelektronik, ein breites Spektrum ihrer praktischen M glichkeiten und Perspektiven f r die weitere Entwicklung. Physikalische Prinzipien der Funktionsweise von MEMS und ihre Eigenschaften werden betrachtet. Das Buch richtet sich an Spezialisten der Mikroelektronik und Informatik sowie an Studenten technischer Hochschulen.